S48 300數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)

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本產(chǎn)品為熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實(shí)時(shí)反應(yīng)氣流瞬時(shí)流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測(cè)量和控制。

1.1 使用范圍

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)

 質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能。

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM)，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能。

1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過沖小等特點(diǎn)。

☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意角度安裝。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。

S48 300/HMT MFC技術(shù)指標(biāo)

表1 S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

4.2 訂貨規(guī)范

在訂貨時(shí)應(yīng)指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計(jì)，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號(hào)，流量規(guī)格，使用氣體種類，管接頭種類。

例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號(hào))  500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)

在貯運(yùn)過程中，不要打開產(chǎn)品包裝，注意防雨、防塵、防磕碰。

不能在極端嚴(yán)寒、高溫、潮濕環(huán)境長(zhǎng)時(shí)間存放。