一.SJ6000激光干涉儀概述
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設(shè)計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量,并且可以進行動態(tài)分析。
二.SJ6000激光干涉儀功能特點
1.測量精度高、速度快,穩(wěn)定性好
①使用美國高性能氦氖激光器,結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)
②以光波長(633nm)為測量單位,分辨率可達nm級
③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù),測量速度可達到4m/s。
④配合有環(huán)境補償單元,在環(huán)境變化的情況下,也可以得到較高的測量精度
⑤分離式干涉鏡設(shè)計,避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變
2. 應(yīng)用范圍廣
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測
②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng),可以用于速度,加速度,振動分析以及穩(wěn)定度等分析
③可實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),進行動態(tài)特性分析
3.軟件界面友好
①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具,軟件界面人性化,操作簡單。
②將靜態(tài)測量和動態(tài)測量兩種功能合并到一個軟件中,更方便用戶切換測量類型。
③向?qū)讲僮鳎鞒糖逦?,更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。
4 性價比高
性能達到了國外儀器的水準(zhǔn),價格是國內(nèi)儀器的良心價。
三.SJ6000激光干涉儀用途
1.激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機位置精度的理想工具。檢定時可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線,為機床的修正提供可靠依據(jù)。
2.激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、 平行度、垂直度等形位誤差,在現(xiàn)場使用尤為方便。
3.激光干涉儀可方便地安裝在測長機上,取代原測長機的坐標(biāo)系統(tǒng),作為一般計量室中的長度基準(zhǔn)。
4.激光干涉儀又是一種高精度的位移傳感器,可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機床及坐標(biāo)測量機上作為坐標(biāo)系統(tǒng),使定位精度大為提高。
5.激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,儀器可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃工作。
6.激光干涉儀與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長度—角度比相計,可作為機床傳動鏈,絲桿螺旋線等誤差的測量系統(tǒng)。